? 基本信息
- 书名：MEMS法珀腔光学声传感器
- 作者：郑永秋, 陈佳敏, 武丽云
- 出版社：电子工业出版社
- 出版时间：2023/11/1
- 字数：101千字
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详解MEMS法珀腔光学声传感器的相关内容。
? 内容简介
MEMS法珀腔光学声传感器是新一代工业及信息技术发展的核心声传感器件。本书系统地论述了MEMS法珀腔光学声传感器的传感机理、法珀腔声敏感结构的优化设计及制备、调相谱检测的声信号解调技术等，还对MEMS法珀腔光学声传感器进行了测试与分析。
本书在注重机理分析的同时，将理论与实践相结合，具有较强的系统性、理论性和实用性，对从事MEMS光学声传感技术研究、设计、制造和应用的科技人员有一定的参考价值，也可作为相关专业本科生和研究生的教学参考书。
? 出版社介绍
电子工业出版社成立于1982年10月，是国务院独资、工信部直属的中央级科技与教育出版社，是专业的信息技术知识集成和服务提供商。经过三十多年的建设与发展，已成为一家以科技和教育出版、期刊、网络、行业支撑服务、数字出版、软件研发、软科学研究、职业培训和教育为核心业务的现代知识服务集团。出版物内容涵盖了电子信息技术的各个分支及工业技术、经济管理、科普与少儿、社科人文等领域，综合出版能力位居全国出版行业前列。
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